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硅光有源流片加工服務(wù)（清采比選20250513號）延期公告

發(fā)布時間： 2025-04-13
發(fā)布時間 2025-04-13 截止日期 立即查看
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變更公告詳情

硅光有源流片加工服務(wù)（清采比選***號）延期公告

延期信息

延期理由：由于該項(xiàng)目報(bào)價(jià)***不滿足要求，本項(xiàng)目延期至***無
采購項(xiàng)目名稱硅光有源流片加工服務(wù)采購項(xiàng)目編號***bind="enquiry.code" class="ng-binding">清采比選***號
公告開始時間***公告截止時間******
對外聯(lián)系人咨***道已聯(lián)系電話***328咨***道已
簽約時間要求成交后5個工作日內(nèi) (如不按時簽訂合同，采購單位***) 交貨時間要求簽訂合同后3個工作日內(nèi)
采購單位***
最高限價(jià)***d colspan="3">￥?226,000.00未公布
國內(nèi)合同付款方式合同簽訂后50%，驗(yàn)收合格后50%
交貨地址***市***
供應(yīng)商特殊資質(zhì)要求

無

采購清單1
物資名稱采購數(shù)量計(jì)量單位
硅光有源流片加工服務(wù)20項(xiàng)
品牌品牌1
型號
品牌2
型號
品牌3
型號
單價(jià)***￥?11,300.00
技術(shù)參數(shù)及配置要求基于CMOS工藝線，采用200 mm SOI 襯底（BOX 3μm， 頂層硅 220 nm），提供整套硅基光子器件制作工藝。主要工藝模塊包括：248nm/293nm精度DUV光刻、220nm/150nm/70nm高精度刻蝕工藝、增強(qiáng)型Poly-Si光柵工藝、鍺材料外延工藝、高速調(diào)制器和鍺探測器的摻雜工藝、介質(zhì)材料生長工藝、TiN加熱器電極工藝、鎢填充孔工藝、硅和鍺的歐姆接觸及金屬互連工藝等。需要提供PDK與MPW服務(wù)。
質(zhì)保期

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