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一、采購(gòu)單位：***

二、項(xiàng)目名稱：紫外光刻機(jī)

三、公開信息：

1.設(shè)備名稱：紫外光刻機(jī)

2.數(shù)量：1

3.關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)：曝光面積：160mm×160mm 曝光波長(zhǎng)：365nm； 分辨力：≤0.8μm； 對(duì)準(zhǔn)精度：±1 μm； 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)掃描臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍至少滿足： Y:10mm；X：±40um（數(shù)字設(shè)定） 掩模尺寸2.5寸，3寸，4寸，5寸，7英寸 （其他尺寸可定制）； 樣片尺寸：碎片，2寸， 3寸，4寸，6英寸（其他尺寸可定制）； 適應(yīng)樣品厚度：0.5-6mm，最大可支持20mm的樣片（定制）； 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）； 照明不均勻性：＜3%； 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程至少滿足：X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6； 曝光能量密度：>30mW/cm 對(duì)準(zhǔn)位和曝光位雙工位工作，雙工位伺服電機(jī)自動(dòng)切換； 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)性； 可數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙，0-500μm數(shù)值化可調(diào)； 具備納米壓印接口，也具備接近式接口 觸摸屏操作

4.預(yù)算金額***00***元

5.成交供應(yīng)商：***

6.成交價(jià)***,00***元

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******月***日