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技術(shù)規(guī)格及參數(shù)

一、參數(shù)分析儀主機： 1臺。
1、可支持9個功能模塊插槽。
2、提供軟件包: 軟件具有450多個應(yīng)用測試庫。用戶界面提供觸滑或點擊控制功能，能為現(xiàn)代半導(dǎo)體、材料和工藝表征提供高級測試定義、參數(shù)分析、圖表繪制和自動化功能。
3、***元：提供雙三同軸輸出端接口、5路接線柱。最大電流：使用雙三同軸連接時為2.6A；使***路接線柱時為9.5A。
4、15.6英寸觸摸屏高清顯示器，分辨率1920x1080。
5、接口：USB,VGA,HDMI,RS-232,以太網(wǎng)。
6、內(nèi)置測量視頻：測試視頻由全球應(yīng)用工程師提供，分為4種語言，可縮短學(xué)習(xí)周期。
7、1條236-ILC-3互鎖電纜3m。
8、 提供參數(shù)分析儀與測試平臺的連接電纜和接頭。
9、主***元、模塊需組合為一套整機使用。
二、中功***元：3個。
1、功率：2.1W。
2、電流測量量程：±100nA~±100mA。
3、電流測量最小分辨率：100fA。
4、電壓測量量程：±200mV~±210V。
5、電壓測量最小分辨率：0.2 mV。
6、電流源量程：±100nA~±100mA。
7、電流源分辨率：5pA。
8、電壓源量程：±200mV~±210V。
9、電壓源最小分辨率：5μV。
10、輸入阻抗：>1013Ω。
11、輸入泄漏電流：<30 pA。
12、測量接口：每個SMU上三個迷你三同軸(母頭)接口，用于Force、Sense 和Sense Lo，一個定制15針D-Sub(母頭)接口。
三、遠程前端放大器模塊：2個。
1、功能：可擴展任意SMU型號的電流范圍，通過在任一SMU型號中有效增加五個電流范圍，分辨率低至0.01fA。
2、輸入接口：一個定制接口，15 針，D-Sub (公頭)。
3、輸出接口：兩個三同軸接口(母頭)。
四、C-V多***元：1個。
1、AC阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)。
2、測量參數(shù):CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta。
3、頻率范圍:1kHz ~ 10MHz。
4、源頻率精度:±0.1%。
5、信號輸出電平范圍：10 mVrms ~ 100mVrms。
6、分辨率:1mVrms。
7、輸出阻抗:100Ω。
8、DC 電壓偏置范圍:±30V(60V差分)。
9、DC 電壓偏置分辨率:1.0mV。
10、最大DC電流:10mA。
11、掃描參數(shù) ：DC偏置電壓, 頻率, AC電壓。
12、掃描類型: 線性, 自定義。
13、掃描方向:向上掃描, 向下掃描。
14、測量點數(shù): 4096。
15、輸出接口: 四個SMA接口(母頭)。

儀器配置：參數(shù)分析儀主機1臺，中功***元3個，遠程前端放大器模塊2個，C-V多***元1個。

質(zhì)保期

質(zhì)保期：設(shè)備驗收合格后1年內(nèi)，耗材和人為因素可以除外。

售后要求

1.質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備的零配件因質(zhì)量問題出現(xiàn)故障，進行免費維修或者更換。設(shè)備報修后24小時內(nèi)給出解決方案，72小時內(nèi)處理好故障。 2.投標商售前售后必須能夠用英文書面口頭無障礙地和項目負責(zé)人進行該項目相關(guān)的溝通。