91精品人妻一区二区50路|99久久99中文字幕|亚洲一个区无码AV|欧州aV亚州aV一区二区|国产Av有码无码精品久热|亚洲高清无码视频,第|页

序號

貨物/服務(wù)名稱

詳細參數(shù)要求

1

工藝氣體分配控制系統(tǒng)

硬件和性能參數(shù)

1. 匹配LPCVD/RPS/RTP/SPTS/真空互聯(lián)系統(tǒng)五臺設(shè)備的工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

2. LPCVD設(shè)備配置6路O2/1路NH3/1路Ar工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)，配置氧氣XCD偵測探頭。

3. RPS設(shè)備配置O2/SF6/CF4各1路工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

4. RTP配置O2/Ar/He***路工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

5. SPTS配置SF6/C4F8/PN2各1路工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

6. 真空互聯(lián)系統(tǒng)配置Ar/O2/He***路工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)，1路PN2工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

7. 配置的系統(tǒng)包***道、閥門、壓力表、接口、減壓閥，配置的系統(tǒng)需符合半導體工藝氣體相應(yīng)純度要求。

8. 配置的系統(tǒng)需要經(jīng)過第三方的五項測試安全質(zhì)量檢測，能夠滿足半導體產(chǎn)線用工藝氣體相應(yīng)標準。

2

售后服務(wù)

售后服務(wù)

1、供應(yīng)商應(yīng)具備完善的售后服務(wù)體系，供應(yīng)商有固定的維護人員并有能力及時處理所有可能發(fā)生的故障。

投標單位******、地址、電話、聯(lián)系人等資料。

2、在保質(zhì)期以內(nèi)，投標人在接到客戶的維修通知對故障能在4小時內(nèi)響應(yīng)，24小時內(nèi)派出有能力的維修人員趕到客戶現(xiàn)場進行維修處理（若用戶提出新的要求，在招標文件***）。

3、在保質(zhì)期滿后，投標人應(yīng)保證以合理的價***和保養(yǎng)服務(wù)，當發(fā)生故障時，投標人應(yīng)按保質(zhì)期內(nèi)同樣的要求進行維修處理，合理收取維修費。

4、質(zhì)保期1年。

5、優(yōu)先考慮具有安全生產(chǎn)許可證、ISO9001質(zhì)量管理體系、知識產(chǎn)權(quán)管理體系、省部級及以上工藝企業(yè)質(zhì)量信用A級及以上等級相關(guān)資質(zhì)的投標人。