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【,北京,】2英寸分子束外延裝置（清設(shè)比選20231748號(hào)）采購(gòu)公告
標(biāo)簽： 采購(gòu)公告2英寸分子束外延裝置（清設(shè)比選20231748號(hào)）采購(gòu)公告招標(biāo)信息招標(biāo)采購(gòu)
發(fā)布時(shí)間 2023-11-15 截止日期 立即查看
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招投標(biāo)詳情

2英寸分子束外延裝置（清設(shè)比選***號(hào)）采購(gòu)公告

采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)2英寸分子束外延裝置采購(gòu)項(xiàng)目編號(hào)***bind="enquiry.code" class="ng-binding">清設(shè)比選***號(hào)
公告開(kāi)始時(shí)間***公告截止時(shí)間******
對(duì)外聯(lián)系人本項(xiàng)目不接受咨詢(xún)咨***道已聯(lián)系電話本項(xiàng)目不接受咨詢(xún)咨***道已
簽約時(shí)間要求成交后5個(gè)工作日內(nèi) (如不按時(shí)簽訂合同，采購(gòu)單位***) 交貨時(shí)間要求簽訂合同后7個(gè)工作日內(nèi)
采購(gòu)單位清華大學(xué)
最高限價(jià)***d colspan="3">?未公布
國(guó)內(nèi)合同付款方式貨到付款100%
交貨地址***市清華大學(xué)
供應(yīng)商特殊資質(zhì)要求

無(wú)

采購(gòu)清單1
物資名稱(chēng)采購(gòu)數(shù)量計(jì)量單位
2英寸分子束外延裝置1套
品牌品牌1
型號(hào)
品牌2
型號(hào)
品牌3
型號(hào)
單價(jià)***￥?
技術(shù)參數(shù)及配置要求配置清單：
（一）分子束外延生長(zhǎng)室
真空優(yōu)于2.0 × 10-4 Pa，由如下部分組成:
1. 1套真空腔體（不銹鋼304，外徑210mm，電化學(xué)拋光），配有觀察窗、觀察窗擋板、盲板等
2. 1套電離真空規(guī)和低真空規(guī)，配有真空規(guī)控制器及線纜
3. 1套6***分子泵（抽速600L/s），配有控制器及線纜
4. 1個(gè)CF150手動(dòng)閥(連接分子泵與生長(zhǎng)室之間)

（二）樣品加熱臺(tái)
定制樣品加熱臺(tái)，可進(jìn)行Z軸移動(dòng)和繞Z軸連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，由如下部分組成:
1. 樣品加熱臺(tái)：采用PBN加熱器，最高加熱溫度不低于800℃，溫度穩(wěn)定性?xún)?yōu)于±0.1℃；配有PID數(shù)字反饋溫控器與線纜?？梢栽谛D(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行加熱，包含樣品架卡座及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)***，由手柄或軟件控制樣品連續(xù)旋轉(zhuǎn)。
2. Z軸位移臺(tái)A：用于實(shí)現(xiàn)樣品在豎直方向的移動(dòng)，驅(qū)動(dòng)方式為手動(dòng)，最大移動(dòng)范圍是±50mm，移動(dòng)精度為1mm，接口法蘭為CF100。
3. 樣品擋板：手動(dòng)或者氣動(dòng)控制擋板，用于遮擋或者露出樣品表面。
4. 3個(gè)樣品架：用于固定定制樣品。

（三）快速進(jìn)樣室
真空優(yōu)于2.0 Pa，由如下部分組成:
1. 1套真空腔體（不銹鋼304，外徑152mm，電化學(xué)拋光），配有盲板等
2. 1個(gè)放氣閥（開(kāi)腔時(shí)高純氮?dú)馊肟冢?br>3. 1根長(zhǎng)傳樣桿用于在快速進(jìn)樣室與生長(zhǎng)室之間進(jìn)行樣品傳送，配有傳樣抓手等。
4. 1個(gè)快進(jìn)門(mén)（樣品進(jìn)出真空腔的入口，CF100法蘭）
5. 1套冷陰極真空規(guī)和低真空規(guī)，配有真空規(guī)控制器及線纜
6. 1個(gè)CF63手動(dòng)閥(連接快速進(jìn)樣室與生長(zhǎng)室之間)

（四）附件
1. 1套CL型高溫單坩堝程控蒸發(fā)源
1） 溫度范圍：300-1200℃
2）溫度穩(wěn)定性：±0.1℃
3）坩堝內(nèi)尺寸：φ12mm x 89mm
4）擋板：手動(dòng)
5）真空內(nèi)長(zhǎng)度：200mm（可定制）
6）內(nèi)置水冷套：可選配過(guò)溫保護(hù)
7）安裝法蘭：DN40CF
8）最高烘烤溫度：200℃
9）溫控器：歐陸表控制的數(shù)字反饋PID控溫
2. 高剛性鋁合金臺(tái)架，配有控制器固定面板、氣管固定配件等。
質(zhì)保期12個(gè)月

清華大學(xué)

***

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