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【,上海,寶山區(qū)】光刻膠自動(dòng)顯影設(shè)備采購(gòu)公告
發(fā)布時(shí)間 2023-12-01 截止日期 立即查看
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招投標(biāo)詳情

上海大學(xué)
光刻膠自動(dòng)顯影設(shè)備采購(gòu)公告

項(xiàng)目編號(hào)***>

根據(jù)《上海大學(xué)采購(gòu)管理辦法(試行)》和《上海大學(xué)貨物和服務(wù)快速采購(gòu)實(shí)施細(xì)則》,上海大學(xué)微電子學(xué)院因教學(xué)、科研需要,現(xiàn)以上大迅采方式采購(gòu)光刻膠自動(dòng)顯影設(shè)備。

【迅采公告特別提示】
1、所有響應(yīng)供應(yīng)商所提交的支撐材料均須加蓋紅色供應(yīng)商公章(供應(yīng)商公章為黑色復(fù)印件、加蓋合同專用章等其他印章的均不予認(rèn)可),否則視為無(wú)效材料。
2、如貨物生產(chǎn)商與響應(yīng)供應(yīng)商不一致的,響應(yīng)佐證材料可僅加蓋響應(yīng)供應(yīng)商公章且保障售后服務(wù)能力。不得僅加蓋生產(chǎn)商公章,否則不予認(rèn)可并視為無(wú)效響應(yīng),可同時(shí)加蓋生產(chǎn)商與響應(yīng)供應(yīng)商公章。
3、所有響應(yīng)供應(yīng)商如對(duì)于已發(fā)布的迅采公告中的技術(shù)參數(shù)、服務(wù)需求、公告附件中的內(nèi)容有疑問(wèn)的,請(qǐng)?jiān)陧憫?yīng)前聯(lián)系采購(gòu)需求聯(lián)系人進(jìn)行充分的溝通和交流。如成交供應(yīng)商因未聯(lián)系采購(gòu)需求人導(dǎo)致對(duì)于采購(gòu)需求存在重大誤解而未能在指定期限內(nèi)保質(zhì)保量交付或完成的,采購(gòu)人有權(quán)向成交供應(yīng)商追究責(zé)任并要求支付賠償金。(適用于除家具以外的貨物類與服務(wù)類項(xiàng)目)
4、由于家具類項(xiàng)目較為特殊、如本項(xiàng)目為家具類項(xiàng)目,響應(yīng)供應(yīng)商原則上應(yīng)當(dāng)在響應(yīng)前主動(dòng)聯(lián)系采購(gòu)需求聯(lián)系人,充分了解項(xiàng)目相關(guān)需求,必要時(shí)采購(gòu)需求聯(lián)系人可要求潛在供應(yīng)商在響應(yīng)前現(xiàn)場(chǎng)實(shí)地踏勘或測(cè)量等。如成交供應(yīng)商因未聯(lián)系采購(gòu)需求人導(dǎo)致對(duì)于采購(gòu)需求存在重大誤解而未能在指定期限內(nèi)保質(zhì)保量交付并完成安裝驗(yàn)收的,采購(gòu)人有權(quán)向成交供應(yīng)商追究責(zé)任并要求支付賠償金。(適用于家具類項(xiàng)目)
5、如本迅采項(xiàng)目需求文件中提到公告附件的,供應(yīng)商需要先在采購(gòu)管理系統(tǒng)中進(jìn)行注冊(cè),注冊(cè)成功并報(bào)名本項(xiàng)目后,可在本項(xiàng)目的響應(yīng)界面查詢并下載其公告附件。
6、若本項(xiàng)目需要采購(gòu)的是儀器設(shè)備的,供應(yīng)商所提交的儀器設(shè)備清單中不得包含有最新版***市政府集中采購(gòu)目錄內(nèi)商品,若有則整單將視為無(wú)效響應(yīng),將被判定為未實(shí)質(zhì)性響應(yīng)。
7、若本項(xiàng)目需要采購(gòu)的是儀器設(shè)備的,所采購(gòu)的儀器設(shè)備均為國(guó)產(chǎn)設(shè)備,無(wú)進(jìn)口設(shè)備。如供應(yīng)商提交響應(yīng)的儀器設(shè)備包含有進(jìn)口設(shè)備的,視為無(wú)效響應(yīng),將被判定為未實(shí)質(zhì)性響應(yīng)。(無(wú)論該設(shè)備現(xiàn)在何處,需要經(jīng)過(guò)海關(guān)清關(guān)結(jié)算的均判定為進(jìn)口設(shè)備)。
8、供應(yīng)商所有提交的響應(yīng)材料均須為中文文件,若原為外文說(shuō)明書等佐證材料的,供應(yīng)商需要同時(shí)附上中文翻譯件。如供應(yīng)商僅提交外文響應(yīng)文件的,該指標(biāo)視為未實(shí)質(zhì)性響應(yīng)。
9、供應(yīng)商所有提交的響應(yīng)文件落款日期均需要在本項(xiàng)目公告期內(nèi),否則整單將視為無(wú)效響應(yīng),將被判定為未實(shí)質(zhì)性響應(yīng)。情節(jié)嚴(yán)重的將被認(rèn)定為提前泄露項(xiàng)目信息并嚴(yán)肅處理。(若本項(xiàng)目非第一次公告的,響應(yīng)文件落款日期以本公告為準(zhǔn),不得直接使用往期落款日期的響應(yīng)文件)。
10、供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)的響應(yīng)操作、響應(yīng)說(shuō)明、加蓋公章的附件證明須保持完全一致。
11、本項(xiàng)目若由采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)***,項(xiàng)目服務(wù)費(fèi)需要由成交供應(yīng)商直接向采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)***,計(jì)費(fèi)依據(jù)與采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)***。

一、供應(yīng)商資質(zhì)要求

1、符合政府采購(gòu)法第二十二條之供應(yīng)商資格規(guī)定。

2、供應(yīng)商未被列入“信用中國(guó)”網(wǎng)站(www***)失信執(zhí)行人名單、重大稅收違法案件當(dāng)事人名單,和中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)(www***)政府嚴(yán)重違法失信行為記錄名單的供應(yīng)商。

二、項(xiàng)目概況

項(xiàng)目編號(hào)***pan style="padding-right:30px;">項(xiàng)目名稱:光刻膠自動(dòng)顯影設(shè)備 預(yù)算金額***rong>2***元
第一輪公告及報(bào)價(jià)******~ ***
第二輪公告及報(bào)價(jià)******~ ***(如有)
(以上海大學(xué)采招辦官網(wǎng)各項(xiàng)目顯示的倒計(jì)時(shí)截止時(shí)間***,如第一輪已完成響應(yīng)提交的,無(wú)需在第二輪重復(fù)提交)
交貨期:***日 交貨地點(diǎn):上海大學(xué)嘉***區(qū)
采購(gòu)需求聯(lián)系人:陶大燎 聯(lián)系電話:***089
采購(gòu)代理機(jī)構(gòu):***
聯(lián)系人:王欣怡、陳瑞麟、鄧澍聯(lián)系電話:王欣怡、陳瑞麟、鄧澍 ***、***、*** wxyi@shbid.com
聯(lián)系地址:***市***路285號(hào)***樓
采招辦監(jiān)督員:謝金印 監(jiān)督電話:***
采購(gòu)清單
采購(gòu)內(nèi)容/設(shè)備名稱參考品牌規(guī)格配置明細(xì)預(yù)算***元)采購(gòu)數(shù)量計(jì)量單位總價(jià)***
光刻膠自動(dòng)顯影設(shè)備(1)氧化鋁合金全柜機(jī)臺(tái),集成式人機(jī)控制系統(tǒng);(2)上進(jìn)風(fēng)下抽風(fēng),帶手動(dòng)風(fēng)閥,頂部 FFU 需選配;(3)標(biāo)配背洗保護(hù)功能; (4)氮?dú)馔獯当Wo(hù)功能可選; (5)帶氣缸升降式腔體,有效防止腔內(nèi)液體外濺;(6)配廢液收集桶及滿溢位傳感器,漏液傳感器; (7)標(biāo)配 1 路壓力桶傳輸系統(tǒng)(顯影液),配獨(dú)立自動(dòng)擺臂,擺臂速度:0~30°/S; (8)標(biāo)配 1 路水和氣,接廠務(wù)供應(yīng),配獨(dú)立自動(dòng)擺臂,擺臂速度:0~30°/S; (9)對(duì)中方式為半自動(dòng)對(duì)中;(10)顯影機(jī)轉(zhuǎn)速:20-5000rpm ,加速度:20-20000rpm/S,轉(zhuǎn)速精度:±1rpm;(11)可存儲(chǔ)100組顯影配方程序,單步最大 3000S,時(shí)間分辨率:0.1S,程序可保存、調(diào)用、修改、刪除。2050001臺(tái)205000
技術(shù)參數(shù)
參數(shù)名稱是否需要附件證明評(píng)分等級(jí)參數(shù)說(shuō)明
水、氣、液傳輸模塊核心指標(biāo)標(biāo)配 1 路壓力桶傳輸系統(tǒng)(顯影液),配獨(dú)立自動(dòng)擺臂,擺臂速度:0~30°/S; (2)標(biāo)配 1 路水和氣,接廠務(wù)供應(yīng),配獨(dú)立自動(dòng)擺臂,擺臂速度:0~30°/S;(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書等材料予以佐證,響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的,視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng),將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
控制模塊核心指標(biāo)觸屏控制、帶可編程邏輯控制器(plc) 遠(yuǎn)程控制設(shè)備;(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書等材料予以佐證,響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的,視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng),將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
自動(dòng)擺臂模塊核心指標(biāo)具備不小于1個(gè)自動(dòng)臂,顯影噴嘴距離基片的距離可調(diào),可調(diào)范圍10mm-50mm或更大范圍,在腔體內(nèi)可以擺≥27°,擺動(dòng)可覆蓋≥200mm直徑,速度最大應(yīng)至少滿足30°S,最小應(yīng)至少滿足0.1°/s。(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書等材料予以佐證,響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的,視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng),將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
電機(jī)模塊核心指標(biāo)顯影機(jī)轉(zhuǎn)速:20-5000rpm ,加速度:20-20000rpm/S,轉(zhuǎn)速精度:≤±1rpm;電機(jī)支持正反轉(zhuǎn)功能;(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書等材料予以佐證,響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的,視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng),將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
自動(dòng)真空監(jiān)測(cè)模塊核心指標(biāo)當(dāng)真空開(kāi)關(guān)傳感器打開(kāi),系統(tǒng)將監(jiān)視真空狀態(tài),僅在真空負(fù)壓≤-0.04MPA 時(shí)才允許電機(jī)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)工作,這將確保底物在高速旋轉(zhuǎn)過(guò)程中被真空載物盤牢固吸附,真空負(fù)壓可調(diào)。(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書等材料予以佐證,響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的,視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng),將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
腔體模塊非核心指標(biāo)支持晶圓尺寸:碎片 - 200mm區(qū)間; (供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書等材料予以佐證,響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的,視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng),將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
程序模塊非核心指標(biāo)單步工藝及多步工藝可選,內(nèi)置≥100組可編輯程序;(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書等材料予以佐證,響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的,視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng),將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
人機(jī)界面模塊非核心指標(biāo)顯示觸控面積≥7寸;(供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)需要提供對(duì)應(yīng)技術(shù)參數(shù)公開(kāi)發(fā)布的印刷材料或宣傳資料或產(chǎn)品說(shuō)明書等材料予以佐證,響應(yīng)時(shí)直接復(fù)制需求說(shuō)明文字作為響應(yīng)材料的,視為沒(méi)有實(shí)質(zhì)性響應(yīng),將被判定為無(wú)效響應(yīng)。)
資質(zhì)要求
要求名稱是否需要附件證明要求說(shuō)明
營(yíng)業(yè)執(zhí)照(三證合一)請(qǐng)上傳相關(guān)證明材料(須加蓋供應(yīng)商公章)
信用中國(guó)證明信用信息報(bào)告日期最早應(yīng)為本項(xiàng)目迅采公告發(fā)布之日(須加蓋供應(yīng)商公章)
商務(wù)要求
要求名稱是否需要附件證明要求說(shuō)明評(píng)分內(nèi)容
同類業(yè)績(jī)供應(yīng)商需提供自******月起至今的同類貨物的銷售合同,其中需體現(xiàn)合同的簽約主體、銷售貨物名稱、簽訂日期等合同要素的相關(guān)內(nèi)容。同類業(yè)績(jī)合同供應(yīng)商需分列填報(bào)上傳,合并文件填報(bào)或集中填報(bào)在同一格子內(nèi)的算1份業(yè)績(jī)。
培訓(xùn)計(jì)劃到貨后14天內(nèi)供應(yīng)商提供面向不少于5人、不低于48小時(shí)的線上或現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)指導(dǎo),供應(yīng)商響應(yīng)時(shí)提供詳細(xì)的培訓(xùn)計(jì)劃。
質(zhì)保期自到貨并驗(yàn)收合格之日起,最低要求質(zhì)保期3年。3年
4年
5年及以上
付款方式合同簽訂后支付20%,貨到學(xué)校,驗(yàn)收合格并簽署驗(yàn)收?qǐng)?bào)告后支付80%
交貨期在簽訂合同后***日內(nèi)交貨。

三、質(zhì)量保證與售后服務(wù)(貨物類)

1、質(zhì)保期為自用戶簽署最終驗(yàn)收?qǐng)?bào)告之日起,在質(zhì)保期間出現(xiàn)故障,供應(yīng)商在接收到用戶通知后于1小時(shí)以內(nèi)予以回應(yīng)、提出解決方案,4小時(shí)內(nèi)維修人員到場(chǎng),72小時(shí)排除故障(特殊情況和不可抗拒因素除外)。在此期間,設(shè)備發(fā)生任何非誤操作造成的故障和損壞,均由供應(yīng)商負(fù)責(zé)免費(fèi)修復(fù),失效零件予以免費(fèi)更換,更換時(shí)所發(fā)生的費(fèi)用均由供應(yīng)商負(fù)擔(dān)。質(zhì)量保證期內(nèi),停機(jī)待修時(shí)間不得超過(guò)一個(gè)月,若超過(guò)一個(gè)月,則保修期延長(zhǎng)待機(jī)時(shí)間的3倍。同時(shí),提供軟件免費(fèi)升級(jí)。

2、貨物到達(dá)學(xué)校后7天內(nèi)由供應(yīng)商負(fù)責(zé)免費(fèi)安裝、調(diào)試與技術(shù)培訓(xùn),調(diào)試儀器所需耗材由供應(yīng)商自行負(fù)擔(dān)。儀器安裝、調(diào)試時(shí)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)軟硬件使用的培訓(xùn):參與培訓(xùn)人員3~5人;內(nèi)容:設(shè)備的工作原理、操作步驟、正常維護(hù)和應(yīng)用等,使培訓(xùn)人員能夠正確、熟練操作及掌握儀器簡(jiǎn)易的故障判別及排除、維修。***專職技術(shù)人員,***專職技術(shù)人員提供培訓(xùn),否則用戶方將拒絕接受。

3、 供應(yīng)商根據(jù)合同提供的貨物應(yīng)是全新的未使用過(guò)的而且是符合國(guó)家有關(guān)制作標(biāo)準(zhǔn)和環(huán)保要求。供應(yīng)商提供詳細(xì)的中文操作、維護(hù)指南。

4、 定期維護(hù),終身保修,只收取零部件成本費(fèi)。

四、供應(yīng)商須知

1、供應(yīng)商須先完成并通過(guò)供應(yīng)商注冊(cè),方可進(jìn)行響應(yīng)。注冊(cè)網(wǎng)址:http***.cn/

2、供應(yīng)商應(yīng)具有連續(xù)多年從事該設(shè)備生產(chǎn)或銷售經(jīng)歷,并有良好的聲譽(yù),且能提供良好的技術(shù)支持。

3、供應(yīng)商應(yīng)完全按照標(biāo)書規(guī)定的設(shè)備名稱、技術(shù)要求、數(shù)量報(bào)價(jià)***方不接受不確定報(bào)價(jià)***

4、供應(yīng)商應(yīng)保證隨設(shè)備提供必要的安裝、調(diào)試、培訓(xùn)、維修等服務(wù),并提供合同所約訂的免費(fèi)維修時(shí)間及終身成本維修。

5、響應(yīng)報(bào)價(jià)***格或在評(píng)審后確定的價(jià)***行過(guò)程中是固定不變的(除非采購(gòu)人對(duì)設(shè)備提出新的要求)不得以任何理由予以變更。

6、供應(yīng)商應(yīng)在響應(yīng)文件中注明貨物的交貨期。

7、若成交供應(yīng)商的報(bào)價(jià)***目的經(jīng)費(fèi)預(yù)算,采購(gòu)人有取消本次采購(gòu)的權(quán)利。

8、供應(yīng)商須登錄上大迅采系統(tǒng)對(duì)每一項(xiàng)要求項(xiàng)進(jìn)行一一響應(yīng),提交證明和支撐材料(加蓋單位***),無(wú)證明和支撐材料視為沒(méi)有響應(yīng)。

9、響應(yīng)供應(yīng)商須保證所提交的響應(yīng)文件、資料的內(nèi)容真實(shí)、完整、有效、一致,如遞交虛假的響應(yīng)文件、資料或填寫信息錯(cuò)誤導(dǎo)致的與本項(xiàng)目有關(guān)的任何損失由供應(yīng)商承擔(dān)。

五、匯款信息與代理服務(wù)費(fèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)

1、匯款信息

?????采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)***:***

?????采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)***(人民幣):建行***市分行營(yíng)業(yè)部

?????賬號(hào)(人民幣):***

?????戶名:***

2、代理服務(wù)費(fèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)

?????1980號(hào)文下浮37%,每個(gè)項(xiàng)目下限為25***元人民幣,具體金額***為準(zhǔn),由成交供應(yīng)商直接向代理機(jī)構(gòu)***。

上海大學(xué)

2023-12-01

本條信息

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