重慶超硅半導(dǎo)體有限公司重慶超硅半導(dǎo)體極大規(guī)模集成電路用拋光硅片生產(chǎn)線技改項(xiàng)目（一期），
1、項(xiàng)目建設(shè)地址：重慶市兩江新區(qū)水土高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園云漢大道5號(hào)附188號(hào)。
2、項(xiàng)目?jī)?nèi)容：①針對(duì)拋光硅片產(chǎn)品，不新增產(chǎn)能，但通過新增化學(xué)氣相沉積（CVD）及其前/后清洗、背封及其前/后清洗、新增汞探針測(cè)試、調(diào)整切片檢驗(yàn)工藝、更換線切割液等增強(qiáng)拋光硅片的導(dǎo)電性，提升產(chǎn)品附加值；②針對(duì)外延片產(chǎn)品，依托硅片廠房2F、3F現(xiàn)有拋光硅片生產(chǎn)線進(jìn)行共線生產(chǎn)，包括線切割及其后清洗、倒角、磨片、腐蝕、邊緣拋光及其后清洗、預(yù)清洗、退火、粗清洗、機(jī)械參數(shù)測(cè)試、拋光、清洗、終清洗、檢測(cè)包裝等工序，通過延長(zhǎng)年工作時(shí)間，新增單晶爐、線切割機(jī)、拋光機(jī)、塑封機(jī)、清洗機(jī)及檢測(cè)設(shè)備，新增化學(xué)氣相沉積（CVD）及其前/后清洗、背封及其前/后清洗、外延工序，可新增年產(chǎn)60萬片外延片；③依托拉晶廠房2F生產(chǎn)附屬品回收處理車間新建晶棒頭尾回收處理線，年回收48噸晶棒頭尾。。
3、項(xiàng)目總投資：7000萬元。

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