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【華北新建】高功率半導(dǎo)體激光器芯片項目
發(fā)布時間 所屬行業(yè) 項目性質(zhì) 地區(qū)
2021-09-17 機械電子電器 新建 北京
年生產(chǎn)各種芯片100萬只:
1、車間占地407平方米,建筑面積487平方米(含公攤面積80平方米),完成建設(shè)高功率半導(dǎo)體激光器芯片生產(chǎn)線,包括外延片光刻、鍍介質(zhì)膜、鍍金屬膜、解理、鍍腔面膜和測試;
2、采用的工藝類似于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝,在外延片表面進行光刻圖形,腐蝕臺階,鍍介質(zhì)膜,光刻腐蝕介質(zhì)膜,制備雙面電極,解理,鍍光學(xué)膜等步驟,最終完成高功率激光器芯片的生產(chǎn)。
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