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【重慶,北碚區(qū)】西南大學(xué)教學(xué)實驗及實訓(xùn)基地設(shè)備更新項目-物理學(xué)專業(yè)實驗平臺建設(shè)
標(biāo)簽： 招標(biāo)公告重慶西南大學(xué)教學(xué)實驗及實訓(xùn)基地設(shè)備更新項目-物理學(xué)專業(yè)實驗平臺建設(shè)西南大學(xué)招標(biāo)信息招標(biāo)采購
發(fā)布時間： 2024-10-01
發(fā)布時間 2024-10-01 截止日期 立即查看
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招標(biāo)公告詳情

*** - 競價***M***) 發(fā)布時間：***截止時間***：***基本信息： 申購主題： ***教學(xué)實驗及實訓(xùn)基地設(shè)備更新項目-物理學(xué)專業(yè)實驗平臺建設(shè) 報價***產(chǎn)含稅 發(fā)票類型： 增值稅專用發(fā)票 付款方式： 貨到后按照履約保證金支付方式付款 送貨時間： 發(fā)布競價***天內(nèi)送達 安裝要求： 免費上門安裝（含材料費） 預(yù)算： 560,000.0000 人民幣 我要報價***： ***市/***區(qū)/***區(qū)/ 供應(yīng)商資質(zhì)： 備注說明： 采購明細： 序號 采購內(nèi)容 數(shù)量 預(yù)算單價***型號 規(guī)格參數(shù) 質(zhì)保及售后服務(wù) 附件 1 PVD 薄膜沉積系統(tǒng) 1 (套) 560,000.00 (人民幣) 杭州大華/MiniLab-60S 矩陣科技/RS-B400 Series 1. 1、 濺射沉積室 沉積室、連***道和法蘭均采用SUS304不銹鋼，材料致密放氣量??；前開門結(jié)構(gòu)，有觀察窗和擋板，磁控靶安裝在下底盤，樣品臺在上頂板，腔室?guī)Х牢蹆?nèi)襯，可拆卸清洗。 2、真空系統(tǒng) 真空系統(tǒng) ★1）極限真空度：優(yōu)于3×10-5Pa (空載經(jīng)烘烤除氣后） 2）恢復(fù)真空：從大氣抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮氣、短時間暴露大氣開始抽氣） 3）真空室漏率：關(guān)機12小時真空度≤5Pa。（新設(shè)備空載） ★4）系統(tǒng)真空檢漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；內(nèi)外表面電解拋光處理。 3、樣品臺 1）樣品臺：抽屜式結(jié)構(gòu)可裝載最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根據(jù)客戶樣品形狀和大小定制樣品托。 2）樣品臺旋轉(zhuǎn)：轉(zhuǎn)速0～30rpm連續(xù)可調(diào)；步進電機控制，轉(zhuǎn)動平穩(wěn)。 3）工轉(zhuǎn)機構(gòu)：采用上驅(qū)動，中心懸掛方式，磁流體無油密封傳動。轉(zhuǎn)動支承部位配有水冷套裝置，避免加熱器等熱源對運動精度的不良影響。加熱器周圍有隔熱保護罩，使基片受熱均勻。 4）樣品臺加熱：采用數(shù)字溫控儀，進口電阻合金進行加熱，加熱爐溫度：室溫～600℃，由熱電偶閉環(huán)反饋控制，可控可調(diào)?？販鼐取?℃，可分段設(shè)定升溫斜率。***區(qū)內(nèi)，溫度均勻性±5℃。 4、磁控濺射靶組件 安裝4個磁控濺射靶組件，其中2個靶位可濺射磁性材料（如鎳或鐵等）。 5、工***路 1）3路質(zhì)量流量計控制***路，可外接多種氣體，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%， 2）前端帶電磁截止閥和過濾器，后端配有混氣室； 6、濺射電源 1）射頻電源：功率500W，頻率13.56MHz，全自動匹配； 數(shù)量：1套 2）直流濺射電源：最大輸出功率：500W；輸出電壓：0～800V可調(diào) 數(shù)量：2套 （其中一臺直流電源一拖二，切換使用） 7、水路系統(tǒng) SUS304不銹鋼水排，保障循環(huán)供水到每個水冷部件；每路冷卻水采用水流感應(yīng)開關(guān)檢測供水狀態(tài)，執(zhí)行異常報警。 8、軟件及其功能（配套控制軟件） ★1、投標(biāo)人提供的成品軟件應(yīng)具有著作版權(quán)，成品軟件應(yīng)具有一鍵式操作功能，并配置多種標(biāo)準(zhǔn)工藝參數(shù)包，可以直接調(diào)取執(zhí)行；2、應(yīng)具有自選參數(shù)功能，可設(shè)定好目標(biāo)真空度、樣品目標(biāo)加熱溫度、濺射電源工作參數(shù)，系統(tǒng)自動開始抽真空，達到目標(biāo)真空度后開始加熱，達到目標(biāo)溫度后根據(jù)設(shè)定的功率開啟濺射電源，濺射時間以設(shè)定的工作參數(shù)為準(zhǔn)； ▲3、同時對濺射電源的功率和濺射時間可以設(shè)定多個數(shù)值，實現(xiàn)不同輸出功率、不同鍍膜時間的控制，進而實現(xiàn)多靶輪流濺射和共濺射； ★4、完備的工藝菜單編輯功能，大容量菜單存儲空間，滿足客戶菜單存儲需求（大于500個）； 5、具有操作日志記錄功能，記錄操操作時的關(guān)鍵信息。 ▲6、機身配置物聯(lián)網(wǎng)+二維碼服務(wù)系統(tǒng):手機掃描二維碼進入微信操作界面可顯示儀器信息、關(guān)注公眾號、點擊查看產(chǎn)品使用說明書、在線故障報修、用戶注冊等內(nèi)容，投標(biāo)人須提供二維碼識別證明材料。 9、工業(yè)冷水機 采用微電腦PLC控制，可自動控制整機運行，全功能防錯操作系統(tǒng)，電氣部分均為國際品牌，保證機器工作穩(wěn)定，壽命長久。全鈦管式水箱蒸發(fā)器，防止純水在輸送過程中產(chǎn)生固體和其它金屬雜質(zhì)。精密數(shù)顯溫度控制器，能精確控制水溫±1℃，按鍵式操作，安裝簡便，靜電噴塑外殼，歐化設(shè)計，美觀大方，外表板采用快速拆裝形式。 10、閥***元 11、備品備件 1套 （設(shè)備的詳細參數(shù)見附件） 按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù)
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