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【山西,太原市】太原理工大學集成電路學院半導體微納加工平臺設備的招標公告
發(fā)布時間 2024-11-03 截止日期 立即查看
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招標公告詳情

項目概況 ***集***路學院半導體微納加工平臺設備項目的潛在投標人應在山西政府采購平臺(http***g.zcygov.cn/user-login/#/login)上獲取招標文件,并于******月***日***時***分(北京時間)前在“山西政府采購平臺”投標人端提交投標文件。 一、項目基本情況 1.項目編號***Y-TYLGZFCG2024-E10) 2.項目名稱:***集***路學院半導體微納加工平臺設備 3.采購計劃文號:ZFCG***7 4.采購方式:公開招標 5.預算金額***元 6.最高***元 7.采購需求: 本次招標共1包,參與投標的投標人應按照招標文件***,提交的投標文件應實質性上響應本招標文件***。 序號 標的名稱 數量 單位 簡要技術需求 備注 1 *反應離子刻蝕機 1 臺 反應離子刻蝕機常用于刻蝕電介質等化學鍵能較大的材料,是一種廣泛用于芯片制造刻蝕的工藝,能夠以極高的精度和對材料的最小損傷來刻蝕晶圓材料。 主要用途:主要應用再微電機系統(tǒng)(MEMS)光電子器件納米材料研究等領域,用來進行介質,有機物材料的刻蝕。 主要技術指標: 刻蝕速率:≥50nm/min; 刻蝕角度:85°±5°; 選擇比:> 1:1(toPR) ; 刻蝕均一性:5%。 2 臺式高質量金屬有機物熱蒸發(fā)鍍膜平臺 1 套 應用范圍非常廣泛,幾乎涵蓋了現(xiàn)代工業(yè)和日常生活的各個方面。 臺式高質量金屬有機物熱蒸發(fā)鍍膜平臺在集***路制造中,真空鍍膜設備用于制造薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。 我課題組在開展高性能薄膜制備,該設備用于制備:Au、Ag、Cu 等低熔點金屬或有機物。 廣泛應用于物理、生物、化學、材料、電子等領域,可沉積單層膜/多層膜。 熱蒸鍍技術是工業(yè)鍍膜的主要技術之一,易于科研成果轉化,是新技術向工業(yè)領域推廣的最經濟有效的方法之一。 是否允許代理商參加 是 是否接受聯(lián)合體參加 否 是否允許合同分包 否 合同履約期限 自合同簽訂之日起30個工作日內完成所供貨物的運輸、安裝、調試,達到技術驗收標準; 對所供貨物的免費配套服務期限按合同條款執(zhí)行。 履約地點 ***省***市***區(qū)***街209號***明***區(qū)***樓集***路學院 付款方式 簽訂合同后,采購人向供應商預付合同金額*** 供應商在合同約定交貨時間內將貨物送到采購人指定地點,并完成安裝、調試,且在供貨期間無任何違約行為,經采購人技術驗收合格,采購人在收到供應商開具的專用發(fā)票10個工作日內向供應商支付合同金額*** 否則,按合同約定扣除相應違約金后,支付剩余合同金額***證金 合同金額***供應商應在中標(成交)通知書發(fā)出后***日內、簽訂合同前,將履約保證金以支票、匯票、本票或者金融機構、擔保機構***。 免費配套服務期滿,以支票、匯票、本票提交的,采購人在收到供應商退還履約保證金申請后5個工作日內,按審核意見扣除違約金(如有違約) 后一次性無息退還; 以保函形式提交的,采購人在收到供應商退還履約保函申請后5個工作日內,按審核意見向出具保函的機構***(如有違約)或將保函原件退還給供應商(如無違約)。 注:如以保函形式提交,須提交見索即付保函,且保函的失效日應晚于服務期滿日***日。 執(zhí)行標準及驗收標準 詳見招標文件***、技術要求。 服務要求 詳見招標文件***、技術要求。 相關政策要求 詳見招標文件***、技術要求。 注:上述表格“備注”欄中未特別標注為“進口產品”字樣的,所報貨物均必須為國產產品,且必須符合國家強制性標準。 二、申請人的資格要求 1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定; 2.落實政府采購政策需滿足的資格要求:本項目不專門面向中小企業(yè)采購。 3.投標人應具備的特定資格條件: 3.1法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件:無 3.2本項目的特殊資格要求:無 4.未被“信用中國”(www***)列入失信被執(zhí)行人、重大稅收違法失信主體名單,未被中國政府采購網(www***)列入政府采購嚴重違法失信行為記錄名單。 5.單位***、管理關系的不同投標人,不得參加同一合同項下的政府采購活動。 三、獲取招標文件 1、獲取時間:******月***日***時***分00秒至******月***日***時***分59秒(北京時間) 2.獲取方式:在線獲取 凡有意參加本項目投標的潛在投標人,請于獲取招標文件***(北京時間,下同),進入山西政府采購平臺(http***g.zcygov.cn/user-login/#/login)使用投標人CA數字證書在線免費獲取招標文件。 3.售價***、提交、解密投標文件截止時間***、方式 1.提交投標文件 截止時間***:******月***日***時***分(北京時間) 提交方式:投標人須在山西政府采購平臺投標客戶端(http*****egory202/sxCategory20201/327.html)按包上傳投標文件后提交。 2.解密投標文件 解密時間:******月***日***時***分至******月***日***時***分(北京時間) 解密方式:在山西政府采購平臺遠程解密。 五、公告期限 自本公告發(fā)布之日起5個工作日。 六、其他補充事宜 1.潛在投標人對招標公告有異議時,應當在法律、法規(guī)規(guī)定的期限內,通過山西政府采購平臺“項目質疑管理”欄向采購人、采購代理機構***。 2.監(jiān)督部門:***省財政廳政府采購管理處,監(jiān)督電話:***。 七、凡對本次采購提出詢問,請按以下方式聯(lián)系。 1.采購人信息 名 稱:*** 地 址:***省***市迎澤***街79號 聯(lián)系方式:*** 2.采購代理機構*** 名 稱:*** 地 址:***市萬***區(qū)長***街 16 號太化大廈 7 層 聯(lián)系方式:*** 附件信息: 最終版***集***路學院半導體微納加工平臺設備-招標文件.pdf 698.7K

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