MCP高二次電子發(fā)射材料沉積設(shè)備及工藝研發(fā)——驗收公示

發(fā)布時間： 2025-05-16

發(fā)布時間	2025-05-16	截止日期	立即查看
聯(lián)系人	立即查看	聯(lián)系電話	立即查看
項目地址	立即查看	設(shè)備詞	立即查看
中標(biāo)機構(gòu)/單位	立即查看	中標(biāo)人名稱	立即查看
中標(biāo)金額	立即查看	網(wǎng)址	立即查看

下文中****為隱藏內(nèi)容，僅對中項網(wǎng)會員用戶開放，?【注冊 / 登錄】?后可查看內(nèi)容詳情

中標(biāo)公告詳情

MCP 高二次電子發(fā)射材料沉積設(shè)備及工藝研發(fā)——驗收公示

http*** 發(fā)布時間：2025-05-15 點擊次數(shù)：904

浙江中科應(yīng)用技術(shù)研究院

關(guān)于省院扶持項目驗收結(jié)果的公示

參照《***省科技計劃項目驗收管理辦法》有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將已經(jīng)組織驗***省院扶持項目的驗收情況及結(jié)果（見下表），向社會公示。對公示項目驗收結(jié)果有異議的，自公布之日起***日內(nèi)，以真實身份，書面向我院提出，我院按規(guī)定對異議人身份予以保護(hù)。

聯(lián)系地址：***市***區(qū)***路778號浙江中科院應(yīng)用技術(shù)研究院

郵政編碼：314022

聯(lián)系人：*** ?盾（浙江中科應(yīng)用技術(shù)研究院科技創(chuàng)新部）

????張麗嬌（浙江中科應(yīng)用技術(shù)研究院科技創(chuàng)新部）

聯(lián)系電話：0573-82585221

項目名稱	MCP 高二次電子發(fā)射材料沉積設(shè)備及工藝研發(fā)
項目負(fù)責(zé)人	夏洋	驗收日期	2025年05月15日
項目承擔(dān)單位	浙江中科應(yīng)用技術(shù)研究院	驗收結(jié)果	通過
驗收組成員	莫非、邱克強、黃增麒、戈秀龍、、楊惠芳
驗收意見	一、提供的驗收資料齊全、規(guī)范，符合驗收要求。二、項目完成了MCP 高二次電子發(fā)射材料沉積設(shè)備的研制以及高二次電子發(fā)射材料Ir 薄膜沉積工藝的研發(fā)。項目實施過程中，攻克了雙層腔室設(shè)計、腔體內(nèi)部均勻加熱系統(tǒng)設(shè)計以及Ir前驅(qū)體進(jìn)源難的難題。最終，項目達(dá)到了合同書的要求：1.原子層沉積設(shè)備真空度高于5×10-3Torr；2. MCP功能層Ir單質(zhì)，孔內(nèi)沉積的薄膜非均勻性≤5%；3.項目期內(nèi)通過本項目已實現(xiàn)2554. 研制了帶有微流床進(jìn)源系統(tǒng)的原子層沉積設(shè)備1套；5.申請專利4項，其中發(fā)明專利2項。三、*檢測（報告編號R4），技術(shù)指標(biāo)符合合同書的要求，經(jīng)用戶使用，反映良好。四、項目預(yù)算總經(jīng)費浙江昌信會計師事務(wù)所（浙昌會所專審(2025)124號）專項審計（決算），實際經(jīng)費支出11**元，其中財政科技補助經(jīng)費支出規(guī)。驗收組認(rèn)為，該項目完成了項目合同書規(guī)定的主要內(nèi)容和任務(wù)，同意通過驗收。
發(fā)布機構(gòu)	浙江中科應(yīng)用技術(shù)研究院	發(fā)布時間	2025.05.15