91精品人妻一区二区50路|99久久99中文字幕|亚洲一个区无码AV|欧州aV亚州aV一区二区|国产Av有码无码精品久热|亚洲高清无码视频,第|页

*** 天仁微納***

*** GL4MINI***

*** ▲1.1、設(shè)備用于納米壓印工藝，實現(xiàn)高精度納米結(jié)構(gòu)復(fù)制，包含工作模具復(fù)制和納米壓印功能； 1.2、可實現(xiàn)100mm、2英寸晶圓的壓印工藝； ▲1.3、手動上下料，在設(shè)備內(nèi)可實現(xiàn)工作模具自動復(fù)制，自動納米壓印及脫模，壓印結(jié)構(gòu)完整； 1.4、母版材質(zhì)可為硅片，石英，玻璃，金屬或者聚合物，尺寸兼容100mm、2英寸圓形模具，厚度范圍0.1mm-5mm； 2、工藝指標(biāo) ★2.1、壓印結(jié)構(gòu)精度可達50納米以下； ★2.2、壓印結(jié)構(gòu)深寬比可達7.5:1（線寬150納米以下光柵結(jié)構(gòu)深度1微米結(jié)構(gòu)須在驗收中被驗證）以上； ★2.3、壓印結(jié)構(gòu)殘膠層厚度可達20納米以下； ▲2.4、結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印精度：壓印結(jié)構(gòu)與原始模具對比優(yōu)于±5%，不包含材料收縮因素，轉(zhuǎn)印結(jié)構(gòu)精度誤差＜±5%； ***元 3.1、基底托盤采用鋁合金材質(zhì)，表面精密研磨加陽極氧化***元吸附面無劃傷，不同尺寸基底邊緣有溢膠槽用于接收溢膠 4、***元 4.1、***元溫度范圍：室溫-70℃，設(shè)置精度±1℃； 4.2、面板熱均勻值≤±3%，面板熱均勻性（在面板***區(qū)域上隨機選取 15 個測溫點，測算出溫度均勻性，公式如下：±（最大值-最小值）/平均值/2*100%）； ***元 5.1、365nm LED紫外曝光固化系統(tǒng)，曝光面積大于100mm直徑； 5.2、光強范圍：最大光強300mW／cm ，曝光強度可調(diào)，內(nèi)置UV能量計讀取實際輻射強度； 5.3、曝光均勻性：100mW~300mW/cm范圍內(nèi)≧80%，計算公式：（1-（測量最大值-測量最小值）/（測量最大值+測量最小值））%***